【deep-submicron是什么意思微电子方面】

问题：【deep-submicron是什么意思微电子方面】

答案：↓↓↓

李安波的回答：

网友采纳　　深亚微米,通常把0.8—0.35μm称为亚微米,0.25μm及其以下称为深亚微米,深亚微米制造的关键技术主要包括紫外光刻技术、等离子体刻蚀技术、离子注入技术、同互连技术等.